5月の半導体装置販売、49％増の3,054億円

日本半導体製造装置協会が6月17日発表した5月の日本製半導体製造装置の販売高（輸出を含む3カ月移動平均、速報値）は、前年同月比48.6％増の3,054億500万円でした。一方、同日に発表した5月の日本製FPD（薄型平面パネル）製造装置の販売高は前年同月比53.7％増の458億2,800万円でした。